计算参数 | DL-2000H | 备注 |
真空室规格 mm | Ø2000*1400 | 直径高度 |
真空室形式 | vertical type | |
门数量 | Inspection window | 单或双开门 |
极限真空 | 7.8×10-4 | 空载 |
真空系统 Pa | 分子泵+罗茨泵机组+维持泵 | |
工作真空 Pa | 7.0×10-3≤10min | 空载≤min 满载≤11min |
显示屏类、手机类、车载类产品制造生产的专用、关键设备。该设备配置磁控溅射靶、离子源及专用蒸发电源;装卸产品的快速、方便,是目前通用的方式。