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DL -550 型真空镀膜-压合机
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技术参数
产品优势
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技术参数
真空室形式
真空室形式为分体式结构
箱体尺寸
箱式前开门、内腔尺寸约Φ550×620mm，SUS304材料
极限真空
3.0×10
-4
Pa
恢复真空度
大气→3×10
-3
Pa≤15min
真空系统配置
分子泵、直联泵、阀门及管道
真空系统测量
数字显示自动真空测量仪（电阻规+金属电离规）
系统操作（触摸屏）
自动PLC/手动
上、下机票设计为自动定位，上片自动夹持
蒸发源
电阻蒸发源及其他相关件组成
产品优势
该设备专门为晶体行业设计及制造，用于各类晶体在高真空状态下的压封及组合（真空压合），可一次性完成镀膜-压封，将两片晶体紧密地粘接；真空系统采用分子泵+直联泵。
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