ZZS系列光学镀膜机-PVD-山东省宝丰镀膜有限公司-镀膜机生产制造商

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应用领域真空镀膜机

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技术创新

创新中心 OD线上测量系统等离子处理往复设计高沉积设计吹气装置

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卷绕镀膜产品中心光学镀膜产品中心 PVD

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公司概况动态与展会荣誉资质专利证书

设备结构	箱式立式前开门。(内腔尺寸，中21 00mm × 1 700mm)；
烘烤蕞高温度	350 °C;
常用温度	室温- 300 °C
真空系统配置	主泵由分子泵(低温泵)、扩散泵+前级泵及气动阀门等
空载极限真空度	3.0 X 10^-4 Pa;
工作真空度	系统暴露大气后恢复真空度4× 10^-3Pa，小于15分钟
蒸发源枪	E型单枪或双枪，电阻蒸发源
离子源	霍尔离子源或考夫曼离子源由用户选配
深冷捕集装置	12P、15P可以选择，蕞低温度可达一135°C；
保护装置	门上配备高压保护装置(防止漏电)以及开门限位装置
膜层控制仪	美国INFICON公司石英晶体控制仪sQC310单探头(原装进口)
其他	配1 9寸工控机带触摸带断电记忆，可实现真空系统自动及镀膜连续自动控制。