PVD设备-PVD-山东省宝丰镀膜有限公司-镀膜机生产制造商

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应用领域真空镀膜机

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支持中心远程控制海外售后服务工程师（印度）

技术创新

创新中心 OD线上测量系统等离子处理往复设计高沉积设计吹气装置

产品中心

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公司概况动态与展会荣誉资质专利证书

真空系统配置	分子泵系统或扩散泵系统、粗抽机组、维持泵等组成
控制系统	全自动+手动系统
参数存储	可对镀膜机运行当中的工艺参数实时地进行采集和存储，镀膜机使用者可以对历史记录(如靶功率、靶电流、靶电压、气体流量、真空室压强、温度等)进行翻阅、查找，以进行数据分析和工艺改进。
其它功能	异常报警、故障报警、故障自检提示等功能，最大限度地保障镀膜机的运行安全和操作者的人身安全；采用北京质量流量控制单元或选配MKS流量计控制单元
驱动及工件转动系统	变频器控制，设置快慢转，可配脚踏开关(用于装卸件)；三菱E700型变频器、三相异步电机、减速机、边传动，自转杆
溅射靶系统	阴极电弧、逆变式弧电源等；溅射靶(圆柱孪生靶、平面靶)，中频电源、偏压电源等
截流阀系统	电动截流挡板0～90°任意角度可调。