设备型号 | OPT-1300P |
工件架机构 | 约1200mm |
回转速度 | 0-50rpm(可变) |
晶体膜厚计 | INFICON XTC/3+6点式晶体旋转传感器 |
操作系统 | 西门子/三菱 |
蒸发系统 | 电子枪*2 |
离子源 | 霍尔型、考夫曼型、射频RF型 |
烘烤方式 | 常温-350℃,石英灯管或不锈管状加热器 |
极限真空 | 7.0*10-5Pa以下 |
抽气时间 | 大气压~3.0*10-3Pa 15min以下 |
设备所需电源 | 3相,380v,50/60Hz 约110KVA |
设备所需冷却水 | 140/min以上 |
设备所需空压 | 0.5-0.7MPA |
OPT-1300P全自动光学镀膜设备
产品特点:
·转架结构是采用磁流体密封技术驱动的中心回转方式来确保镀膜的稳定性和均匀性
·配置离子源以提高镀膜层的耐磨性,增加镀膜层的附着性
·光学监控系统,电阻加热蒸发源可依需求追加安装
·工件架可选择钟罩式或行星式
·丰富的镀膜种类
·易于操作和维护
·很高的工艺稳定性
应用领域:
汽车触摸屏、手机膜片颜色、手机盖板玻璃、摄像头AR、望远镜、光学镜头、眼镜片、装饰性部件
产品应用:
·金属膜
·滤光片
·反光膜
·增透膜
·非导电膜(NCVM)
·防指纹膜(AF)
·减反膜